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    LDLS光源温度控制器
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    • LDLS光源温度控制器

    产品概述

    快速制冷，自动控制，1路控温，控温精度优于10mK。

    应用场景

    先进的半导体工艺越来越复杂，集成电路制程对于缺陷和精度的检测要求越来越高；半导体检测设备是集成电路工艺中的核心设备，其中检测光源直接决定了性能和效率。


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